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分子泵使用注意事项
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摘要:分子泵使用注意事项

分子泵使用注意事项

    (1)分子泵不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵内。

    (2)分子泵系统充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。绝不能从泵的前级管路进行充气。

    (3)分子泵工作时严禁大气量气体进人泵内,否则会导致分子泵损坏。

    (4)分子泵是高速旋转的精密设备,抗振动或冲击能力较弱,因此应避免与振动或冲击强烈设备接触。

    (5)不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

    (6)分子泵入口应装设防护网,以避免异物进人泵内损坏泵转子和定子叶片。

    (7)分子泵不宜长时间保持真空状态,防止前级泵油反扩散到分子泵内。

    (8)分子泵停止后,应关闭冷却水,以防止在泵内形成冷凝水。

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