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在洁净制程中使用多级罗茨泵
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摘要:在洁净制程中使用多级罗茨泵
在洁净制程中使用多级罗茨泵
ACP 系列的气冷式罗茨多级泵很少需要保养,且其仪稳定的性能与众不同。它们可用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程。A 100 L 和 A 200 L 紧凑型罗茨泵体积小易于集成到系统中。半导体和光伏生产系统的装载互锁与传输室是这种类型泵的典型应用领域。ACP 120 系列带有水冷却的罗茨多级泵的泵心是采用真空压铸工艺制成,结构坚固。 就像罗茨真空泵组 ACG 600 一样,它们被用于需要较高抽速的研发、真空镀膜和冶金行业。
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