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复合溅射离子泵的非蒸散型吸气剂NEG的固定及激活方式
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摘要:NEG的固定及激活方式: 对于大型复合溅射离子泵可直接在泵腔内固定大吸气量的吸气剂组件,以大幅度提高复合泵的抽速。

非蒸散型吸气剂

NEG的固定及激活方式:
对于大型复合溅射离子泵可直接在泵腔内固定大吸气量的吸气剂组件,以大幅度提高复合泵的抽速。微型溅射离子泵内部空间非常狭小,泵内可以利用的空间只有阳极筒和泵壳之间的缝隙。采用SAES公司生产的ST系列的吸气剂颗粒,将其固定在阳极筒侧壁上。这种固定方式不影响阳极筒和泵壳之间的绝缘。
文献中在溅射离子泵连接管上再开一个法兰孔引出电极,通电给吸气剂组件进行激活。而本文所述微型溅射离子泵上再引出电极引线将增大泵的体积,是不现实的。只能通过直接加热的方式来激活吸气剂。由于永磁体在高温下会发生不可逆退磁,所以烘烤泵壳时应将磁钢卸下。商用的大型溅射离子泵磁钢笨重且磁能很大,拆装既不安全也很不方便。本文所研制的微型泵的磁钢和泵体相互独立,拆装简单,这给吸气剂直接烘烤激活带来了方便。


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