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Alcatel|负载锁干泵|整合轻型干泵
自1999年A100L发布的日期以来,在半导体工业中,干泵一体化的概念已经成为一个标准。今天,在世界范围内,A100L被安装在300mm数量级的半导体器件上,为关键的行业提供公认的利益。
特点:
•直接集成到硅片加工设备
•使用时100m3/h 的抽水速度
•安静和清洁
•能源效率
•可靠:
应用:
•负载锁
•转换腔
•物理气相沉积
•扫描电镜

 

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