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Alcatel|干泵系统|即插即用工具真空系统
即插即用工具真空系统
ATPS 2
半导体工业的先进解决方案
阿尔卡特新近将真空泵与除气系统整合,使用阿尔卡特新型即插即用工具泵和除气系统您完全无须再来回奔跑。
为了节约制造空间,阿尔卡特的tool pumping solution 致力于工具应用系列开发,可节约操作时间30~70%,整合到除气系统还可节约更多时间。
ATPS理念,是安装抽速达100到1800m3/h抽气工作线的相当不错的选择。可选的气体处理系统可与其他干泵、烧结炉/请洗机或者PFC除气的plasma技术整合。
阿尔卡特新型ATPS包括两种型号:
•ATPS 42高达四组抽水线路,占地面积0,46米 x 1,3米* (最多两个助推器辅助线)
•ATPS 82多达6个泵站线,0,92米 x 1,3米* (最高为4个助推器辅助线)
应用:
阿尔卡特以其在干真空领域技术,竭诚为其终端用户谋求利益,我们的系列产品均应用这一技术。基于这一应用工艺,真空线上包括绝缘的阀门在内的部分均被加热。
ATPS系列专为配合阿尔卡特小型干泵使用而制造,与应用材料同步发展,在1500多次安装中其品质与可靠性得到了印证。这些泵专为与半导体工具整合而设计,因此需要大量时间与成本,但为用户节约了能源。
* 不包括整体装置。
主要优点:
阿尔卡特的最新创造即插即用系统大幅提高了以下用户性能:
•连接更快更容易(节约了6台设备的连接,以多种方式将真空泵与除气系统整合)
•高安全性(可选安全感应器)
•降低噪音(降低近65%声压)
•标准化的进口连接(大约2m高,这一系统设计使得真空泵拆卸更为快捷。)
•通过减小长度节约管道长度
•使更快捷的泵成为现实

 

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脚注信息

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