logo
自定内容

产品系列
 
产品搜索
 
产品详情
Alcatel|污染物处理解决方案|气态分子污染(AMC)监测
气态分子污染(AMC)监测
阿迪克森Pod分析器FOUP实时监测(APA 302)
通过环境监控,降低全球200 / 300 mm I.C.Fab缺陷率的解决方案
APA 302(阿迪克森Pod分析器)是独特的FOUP AMC实时监测方案:
•在FOUP和晶圆级2分钟内监测并显示
•提高晶圆环境的识别水平
•提供实时数据来优化清洁技术
优势:
•实时监测
•高灵敏度
•无需改动FOUP
•高产量




 

图片
脚注信息

Copyright (C) 2009-2014 All Rights Reserved. Vacuum Technology 利比特品牌|利比特真空技术网

苏州利比特控制科技有限公司 版权所有    ICP10224855

服务时间:周一至周日 08:30 — 20:00  全国订购及服务热线:(86)0512-67250662
联系地址:苏州工业园区东富路45号独墅湖创投工业坊9栋2C   邮政编码:215003


51客服