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Alcatel|污染物处理解决方案|分子净化解决方案
分子净化解决方案
阿迪克森Pod再生器(APR)
提高产量,减少等待时间
控制气态分子污染(AMC)的终极途径
阿迪克森APR4300的设计会带来:
•革命性的进程
•灵活的配置
•世界级的粒子性能
•符合半导体工业的全球标准(SEMI S2)
•100mm的晶圆生产周期
应用:
•FEOL蚀刻后
•BEOL蚀刻后
•离子注入后

 

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