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Alcatel|污染物处理解决方案|设备污染控制工具
设备污染控制工具
排气压力控制(EPC)
半导体工业的先进解决方案
排气压力控制(EPC)在无节流阀的情况下管理室内压力。它能保证室内流动均匀性,避免出现不期望的颗粒污染。它专为目前及未来洁净室技术提供先进的解决方案。
新的技术:
得益于变速CPM系统,Adixen高真空技术设计了一种蚀刻机压力调节系统,它能满足各种蚀刻工具及当前许多应用的需要。通过控制排气压力,EPC可控制分子泵的抽速,进而最终控制室内压力。 高效系统:
•由于快速执行器(阀),反应时间根据工艺和配置最短能达到3s。静态误差(稳定性)从未超过设定点的± 2%。•学习模式能记录管道配置的影响,从而提高调控阶段的效率。缺陷及MTBC的改进
•EPC的目标是减少蚀刻工具(铝、多晶硅蚀刻、氧化物蚀刻工艺)的缺陷。•另一目标是阻止调节阀的移动,从而增加工具的MTBC。这样颗粒或副产物就无法通过阀门污染晶圆或腔室。

 

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