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Alcatel|高真空泵|混合磁悬浮涡轮分子泵
磁悬浮涡轮分子泵
ATH-M 系列
Adixen磁悬浮涡轮分子泵
阿迪克森磁悬浮涡轮分子泵
五大防腐特性
•自动平衡系统•嵌入式75加热系统•5轴控制•惰性气体吹扫•逆向动力密封(适用于ATH400与ATH1300型)高流量应用
ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是专为高压、高流量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。
紧凑而现代的设计
•可调节转速以优化抽气时的参数
•高平均无故障时间
•使用成本低
•低噪音低振动
•无需电池
应用
•玻璃镀膜
•微处理系统加工
•离子束矫正
•电子显微镜
•空间模拟腔
•粒子加速器
•半导体工艺(刻蚀, CVD, 离子插入)
•镀膜与薄镀膜工艺
•离子铣
•以及许多研发实验

 

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