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Alcatel|高真空泵|中型复合式磁悬浮分子泵ATH2303M
中型复合式磁悬浮分子泵
ATH2303MATH 2303 M
- 专为低成本安装设计
Adixen的ATH2300M复合式分子泵已经在半导体等恶劣环境应用下证明了其强劲能力。
全新设计的ATH2303M复合式磁悬浮分子泵采用集成式控制器,适用于非加热要求的各种应用,具有安装使用成本低等特点。结构设计紧凑,抽速大,气体处理能力强,5轴磁悬浮轴承设计保证泵运行稳定可靠。可提供DN200和DN250口径。
安装使用方便:将泵连接至腔体,提供电源,冷却水及通讯信号,即可启动分子泵开始工作.
客户关注特性:
l 泵与控制器之间无需线缆连接
l 结构紧凑
l 高强度设计保证运行可靠性
l 5轴磁悬浮轴承设计保证无工艺气体污染,低噪音及振动等级
l 转速可调确保运行最优化
l 任意角度安装
l 复合式转子设计保证大抽速,允许非常高的的排气压力,节约前级泵的采购成本
l 轴承无需定期维护
l 工厂集成及测试,节省安装时间

 

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