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Alcatel|高真空泵|新型磁悬浮涡轮分子泵ATH 3200 M
新型磁悬浮涡轮分子泵
ATH 3200 M
阿迪克森介绍给您新型的磁悬浮涡轮分子泵
阿尔卡特阿迪克森通过引入ATH3200M扩大其产品种类,高流量的磁悬浮涡轮分子泵为ISOF 320法兰提供了高性能表现。
该ATH3200M是专为高真空应用要求设计的,抽速结合高气体吞吐量高达5000 sccm N2 。
这种泵的特殊性能,使其适用于轻型和苛刻的工艺过程,包括300毫米半导体的应用,平板显示,光伏,涂层,R/D ,空间模拟器等。

 

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