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Alcatel|高真空泵|磁悬浮涡轮分子泵ATP 2300M
阿尔科特高真空技术将其生产线延伸到了ATP2300M——高转速的磁力涡轮泵,提供了高效的轻气抽取功能。
ATP2300M 专为真空应用而设计,结合了高速度的吸取与高达3000 sccm N2的大气体吞吐量。
这款泵的性能使其适用于精细苛刻的应用环境,如半导体植入,HDPCVD,研发和镀膜等。

 

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