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Alcatel|高真空泵|陶瓷球轴承涡轮分子泵ATP 系列
一种型号供所有应用工艺使用
ATP 系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号:
•标准型•适于腐蚀性应用工艺的C型•适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型逆向动态密封
C型与HPC 型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时,HPC型可加热至65°C,以防冷凝。
ACT 控制器:多种远程控制接口
ACT 控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择,ACT控制器更易整合。
特点:
•内部流导大
•低转速
•内部间隙大
优点:
•避免使用旁通管道
•遇到各种突发情况时抵抗力强(空气流入、振荡等)
•固体粉尘敏感度低(沉积、污染)
应用:
•高真空
•空间模拟
•沉积
•粒子加速器
•通用物理实验
•离子束
•表面分析器
•进出口室抽气
•电子显微镜
•反应粒子离合
•物理气象沉淀
•离子注入

 

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